台阶仪，台阶仪测量膜厚原理！

摘要： 本文目录一览：1、台阶仪测量薄膜厚度的优缺点。2、测厚度的仪器有哪些?...

本文目录一览：

• 1、台阶仪测量薄膜厚度的优缺点。
• 2、测厚度的仪器有哪些?
• 3、现在要买薄膜测量仪的话,买哪个厂家的好?

台阶仪测量薄膜厚度的优缺点。

1、，机械式台阶仪测量会有个问题，因为眼镜不是平面的，是球面的，用机械式台阶仪效果估计不会太好。

2、它可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。

3、如果对厚度测量的要求不是特别精确，那么台阶仪相对较高，那么就使用椭偏仪。

4、样品厚度：白光干涉仪的测量精度受到样品厚度的影响，一般要求样品厚度在几纳米至几百微米范围内，过厚或过薄的样品对测量精度都会产生较大的影响。

5、一般使用台阶仪，需要制作掩膜，或者使用油性笔画线，镀膜结束后洗掉线。一般的台阶仪精度极限在50nm左右，小于这个的厚度的薄膜可以使用椭偏仪。但是需要知道镀膜的材料。

6、在线膜厚监控法 无损检验法 破坏法 说点实际的吧：用的最多的还是台阶仪吧，我公司就是。比较简单，方便。

测厚度的仪器有哪些?

游标卡尺 游标可测量物体的内径、外径、长度、宽度、厚度、高度、深度；卡尺是常用且使用方便的量具，在加工现场使用频率很高的量具。当然也是接触式离线检测设备，大多适用于一些小尺寸的测量。

激光测厚仪：利用激光的反射原理，根据光切法测量和观察机械制造中零件加工表面的微观几何形状来测量产品的厚度，是一种非接触式的动态测量仪器。X射线测厚仪：主要应用行业于有色金属的板带箔加工、冶金行业的板带加工。

测量厚度可以用时下热门的纳米级测量仪器-光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜和台阶仪。

目前常用的测厚仪有三种：激光测厚仪、射线测厚仪和超声波测厚仪。激光测厚仪由两个相对的激光测距传感器组成。

激光测厚仪是利用激光的反射原理，根据光切法测量和观察机械制造中零件加工表面的微观几何形状来测量产品的厚度，是一种非接触式的动态测量仪器。

目前常用的厚度测量仪有三种，激光测厚仪、射线测厚仪与超声波测厚仪。

现在要买薄膜测量仪的话,买哪个厂家的好?

如果对厚度测量的要求不是特别精确，那么台阶仪相对较高，那么就使用椭偏仪。

Zeiss（蔡司）：德国品牌，以高质量和高精度著称，尤其在光学领域有很高的声誉。Keyence（基恩士）：日本品牌，专注于高精度和易用性。Faro：美国品牌，主要提供3D测量、成像和实现解决方案。

菲希尔的测量精度及稳定性是不错的，目前是科研院所，检测机构及跨国大公司的首选。因为是全进口仪器，所以硬件更换维护成本较高，但是质量稳定，故障率低。